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    光刻機用冷水機組的安裝要求有哪些

    簡要描述:元器件高低溫測試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導體電子元件的制造中,IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測試階段包括在溫度(-85℃至+ 250℃)下的電子冷熱測試和其他環(huán)境測試模擬。光刻機用冷水機組的安裝要求有哪些

    • 產(chǎn)品型號:AES-4535
    • 廠商性質:生產(chǎn)廠家
    • 更新時間:2025-01-13
    • 訪  問  量:2735
    詳情介紹
    品牌LNEYA/無錫冠亞冷卻方式風冷式
    價格區(qū)間5萬-10萬產(chǎn)地類別國產(chǎn)
    儀器種類一體式應用領域化工,電子/電池,航空航天,制藥/生物制藥,汽車及零部件

    <strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

     型號AES-4535
     AES-4535W
    AES-6035
     AES-6035W
    AES-8035
     AES-8035W
    AES-A1035WAES-A1235W
    溫度范圍-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
    制冷量-45℃2.5kW    
    -60℃ 2kW   
    -80℃  1.5kW  
    -100℃   1.2kW 
    -120℃    1.2kW
    溫控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
    溫度轉換時間-25℃ to 150℃ 約10S
    150℃to  -25℃
    約20s
    -45℃ to 150℃ 約10S
    150℃to  -45℃
    約20s
    -55℃ to 150℃ 約10S
    150℃to  -55℃
    約15s
    -70℃ to 150℃ 約10S
    150℃to  -70℃
    約20s
    -80℃ to 150℃ 約11S
    150℃to  -80℃
    約20s
    空氣要求空氣濾清器<5um
    空氣含油量:<0.1ppm
    空氣溫濕度:5℃~32℃  0~50%RH
    空氣處理能力7m³/h ~ 25m³/h  壓力5bar~7.6bar
    系統(tǒng)壓力顯示制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實現(xiàn)(高壓、低壓)
    循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上
    控制器西門子PLC,模糊PID控制算法
    溫度控制控制出風口溫度
    可編程可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟
    通信協(xié)議以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
    設備內部溫度反饋設備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設備有)
    溫度反饋T型溫度傳感器
    壓縮機法國泰康/艾默生
    蒸發(fā)器套管式換熱器
    加熱器法蘭式桶狀加熱器
    制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥過濾器、油分離器、高低壓保護器、膨脹閥、電磁閥)
    操作面板無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導出
    安全防護具有自我診斷功能;相序斷相保護器、冷凍機過載保護;高壓壓力開關,過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。
    制冷劑冠亞混合制冷劑
    外接保溫軟管方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍
    外型尺寸(風)cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
    外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
    風冷型采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風機采用德國EBM軸流風機
    水冷型 W帶W型號為水冷型
    水冷冷凝器板式換熱器(務必確保冷卻水清潔)
    冷卻水量 at 25℃0.6m³/h
    G3/8
    1.2m³/h
    G3/4
    1.6m³/h
    G1
    2.6m³/h
    G1
    3m³/h
    G1
    電源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
    電源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
    外殼材質冷軋板噴塑 (標準顏色7035)
    溫度擴展高溫到 +300℃

     

     

    <strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

    <strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

    光刻機用冷水機組的安裝要求有哪些

    光刻機用冷水機組的安裝要求有哪些

      為確保光刻機用冷水機組的靠譜及正常運行,防止不適當?shù)乃涔苈肥┕ぴ斐傻睦渌畽C故障,安裝本機組時應注意下列事項:

      光刻機用冷水機組的電源注意事項

      1光刻機用冷水機組電源采用三相四線、電源線接電源火線,接零線,(G)接地線。

      2光刻機用冷水機組用主電源線線電控箱上的穿孔連接在箱內接柱上,保證連接緊固。

      3機組配電要求:主電源電壓:額定電壓范圍以內。

      4主電源電壓波動超過規(guī)定范圍時,不準起動冷水機、否則視作操作不當,由此引起的損壞不在本公司保養(yǎng)范圍之內。

      5水系統(tǒng)之水流開關、水泵、冷卻水塔電機等聯(lián)鎖電路必要時可正確連接在機組控制電路中。

      6光刻機用冷水機組設有電流過載保護、壓縮機排氣端之高低壓保護,馬達線圈過熱保護、防冰保護,冷卻水之水流連鎖保護等多種措施,切勿擅自改動、如需改動請與廠家聯(lián)絡。

      光刻機用冷水機組的安裝注意事項

      1吊運安裝光刻機用冷水機組時注意不要損壞機組,合理布局光刻機用冷水機組周圍空間,以方便維修保養(yǎng)光刻機用冷水機組。

      2按照對配管系統(tǒng)設計及施工安裝的要求,合理設計和安裝凍水及冷卻水系統(tǒng),以充分發(fā)揮光刻機用冷水機組性能。

      3機組應水平放置,及安裝在通風位置。

      4根據(jù)機組制冷能力選用匹配的冷卻塔。

      5機組配管請參照本公司建議之配管方法安裝施工。

      6水源及散熱水塔周圍環(huán)境惡劣時,冷凍水和冷卻水回路安裝Y型過濾器及定時清理,封閉冷凍水系統(tǒng)高處安裝自動排氣閥、系統(tǒng)低處安裝排水接頭,以系統(tǒng)排水用。

    7冷凍水管路系統(tǒng)通過試漏后,包保溫層,避免冷量散失及管路滴水。

     

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